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真空环境摩擦焊在半导体设备中的应用晶圆传输机械臂需在10⁻⁶Pa真空环境下工作,传统焊接残留的挥发物会污染超净环境。采用真空腔体集成摩擦焊技术,焊接过程中腔内氧含量<5ppm,使316L不锈钢焊缝杂质含量降至50ppm以下。
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摩擦焊机是一种通过机械摩擦产生热能实现材料连接的先进设备。其工作原理基于高速旋转或线性振动使工件接触面产生摩擦热,当温度达到材料塑性状态时施加顶锻压力完成焊接。与传统熔焊技术相比,摩擦焊无需外部热源,可避免气孔、裂纹等缺陷,焊接强
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